Adhesion Strength of Multi-element Coatings of the System (TiNbCrZrSi)N

Abstract

Вивчено механічні характеристики багатоелементних покриттів (TiNbCrZrSi)N у залежності від параметрів процесу осадження, зокрема потенціалу зсуву. Спектри рентгенівської дифракції, показали, що покриття формується на основі однофазної ГЦК решітки, яке у разі нітридів має структуру типу NaCl. Твердість і модуль пружності покриття (TiNbCrZrSi)N змінюється від H = 24 ГПа і Е = 254 ГПа до H = 28,9 ГПа і Е = 291 ГПа. Коефіцієнт опору пластичної деформації (H3/E2) становить 0,28.

Изучены механические характеристики многоэлементных покрытий (TiNbCrZrSi)N в зависимости от параметров процесса осаждения, в частности потенциала смещения. Спектры рентгеновской дифракции, показали, что покрытие формируется на основе однофазной ГЦК решетки, которое в случае нитридов имеет структуру типа NaCl. Твердость и модуль упругости покрытия (TiNbCrZrSi)N изменяется от H = 24 ГПа и Е = 254 ГПа до H = 28,9 ГПа и Е = 291 ГПа. Коэффициент сопротивления пластической деформации (H3/E2) имеет значение 0,28.

The mechanical characteristics of the multi-element coatings (TiNbCrZrSi)N have been studied depending on the deposition process parameters, in particular the bias potential. X-ray diffraction spectra has shown, that the coating is formed on the basis of single-phase state of the fcc lattice, which in the case of nitrides has structural type NaCl. Hardness and elastic modulus of the coating (TiNbCrZrSi)N varies from H = 24 GPa and E = 254 GPa to H = 28.9 GPa and E = 291 GPa. Coatings’ index of resistance to plastic deformation (H3/E2) has a value of 0.28.