Анализ применения сфокусированных пучков заряженных частиц в производстве нанокомпонент

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4156

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Анализ применения сфокусированных пучков заряженных частиц в производстве нанокомпонент
Authors	Vorobiov, Hennadii Saveliiovych Пономарёва, А.А.
ORCID
Keywords	сфокусированные пучки сфокусовані пучки focused beams
Type	Conference Papers
Date of Issue	2010
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4156
Publisher	Видавництво СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Воробьёв, Г.С. Анализ применения сфокусированных пучков заряженных частиц в производстве нанокомпонент [Текст] / Г.С. Воробьёв, А.А. Пономарёва // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 136.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)