Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4228

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине
Authors	Sokolov, Serhii Viktorovych Марченко, Т.В.
ORCID	http://orcid.org/0000-0001-8707-4616
Keywords	метод ионной имплантации метод іонної імплантації ion implantation
Type	Conference Papers
Date of Issue	2010
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4228
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Соколов, С.В. Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине [Текст] / С.В. Соколов, Т.В. Макаренко // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 166.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)