Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію

Перекрестов, Вячеслав Іванович; Наталіч, Вікторія Вадимівна; Корнющенко, Ганна Сергіївна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/42530

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію
Authors	Perekrestov, Viacheslav Ivanovych Natalich, Viktoriia Vadymivna Korniushchenko, Hanna Serhiivna
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-3832-1171 http://orcid.org/0000-0002-2996-1003
Keywords	отримання конденсатів формування парових потоків розпилення речовини
Type	Patent
Date of Issue	2014
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/42530
Publisher	Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)
License
Citation	Пат. 95509 U Україна, МПК H01L 21/20 (2006.01). Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію / В.І. Перекрестов, В.В. Наталіч, Г.С. Корнющенко, (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № u201407832; заявл. 11.07.2014; опубл. 25.12.2014, бюл. № 24.
Abstract	Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію (Аl2О3) шляхом випаровування речовини у вакуумі з подальшою конденсацією сформованих при цьому парових потоків всередині упорядкованої системи пор Аl2О3. Формування парових потоків здійснюють за допомогою магнетронного розпилення речовини. При цьому утворений паровий потік пропускають через тісно прилягаючі одна до одної трубки, діаметр яких не перевищує ширину зони розпилення магнетронної мішені. Осі трубок орієнтовані перпендикулярно поверхні магнетронної мішені та поверхні підкладок, на якій розташовують шар пористого Аl2О3.
Appears in Collections:	Патенти