Використання плівкової системи Cu/Cr як чутливого елемента датчика тиску

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4273

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Використання плівкової системи Cu/Cr як чутливого елемента датчика тиску
Authors	Pazukha, Iryna Mykhailivna Ісаєв, О.В.
ORCID	http://orcid.org/0000-0001-9410-3024
Keywords	датчик тиску плівкова система Cu / Cr датчик давления пленочная система Cu / Cr pressure pellicle system of Cu / Cr
Type	Conference Papers
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4273
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Ісаєв, О.В. Використання плівкової системи Cu/Cr як чутливого елемента датчика тиску [Текст] / О.В. Ісаєв, І.М. Пазуха // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. — Суми : СумДУ, 2008. — Т.1. — С. 97.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)