Сенсор хвильового фронту для визначення дефектів наноструктурованих поверхонь

Abstract

Наведено порівняння теоретичних розрахунків та експериментальних результатів впливу інтерференційних явищ на визначення параметрів і структури показника заломлення. Показано особливість формування вихідної хвилі в системі з подвійним Фур'є-перетворенням при відбиванні світла від поверхні зі структурованими локальними неоднорідностями показника заломлення. Проведено теоретичний аналіз та комп'ютерне моделювання роботи сенсора хвильового фронту по виявленню просторового розподілу показника заломлення. Для визначення напрямку зміни показника заломлення пропонується використати дисперсію фази хвильового фронту.

Приведено сравнение теоретических расчетов и экспериментальных результатов воздействия интерференционных явлений на определение параметров и структуры показателя преломления. Показана особенность формирования исходящей волны в системе с двойным Фурье-преобразованием при отражении света от поверхности со структурированными локальными неоднородностями показателя преломления. Проведен теоретический анализ и компьютерное моделирование работы сенсора волнового фронта по выявлению пространственного распределения показателя преломления. Для определения направления изменения показателя преломления предлагается использовать дисперсию фазы волнового фронта.

The comparison of the theoretical calculations and experimental results of the influence of interference phenomena on the determination of the parameters and the structure of the refractive index is presented. The feature of the original wave formation in the system of double Fourier transform with the reflection of light from the surface with structured local inhomogeneities of the refractive index is shown. The theoretical analysis and computer simulation of the wavefront sensor operation to detect the spatial distribution of the refractive index are performed. It is proposed to use the wavefront phase dispersion to determine the direction of the refractive index change.