Захисні покриття в мікроелектроніці

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4349

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Захисні покриття в мікроелектроніці
Authors	Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna Велитченко, А.Г.
ORCID
Keywords	захисні покриття мікроелектроніка защитные покрытия микроэлектроника protective coatings microelectronics
Type	Conference Papers
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4349
Publisher
License	Copyright not evaluated
Citation	Велитченко, А.Г. Захисні покриття в мікроелектроніці [Текст] / А.Г. Велитченко, Н.М. Опанасюк // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. — Суми : СумДУ, 2008. — Т.1. — С. 116.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)