Розроблення радіочастотного датчика товщини провідних плівок на діелектричній основі

Левченко, К.С.; Лаврук, А.Р.; Бадай, В.С.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43536

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Розроблення радіочастотного датчика товщини провідних плівок на діелектричній основі
Authors	Левченко, К.С. Лаврук, А.Р. Бадай, В.С.
ORCID
Keywords	радіочастотний датчик радиочастотный датчик RF sensor провідні плівки проводящие пленки conductive films діелектрична основа диэлектрическая основа dielectric base
Type	Conference Papers
Date of Issue	2015
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43536
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Левченко, К.С. Розроблення радіочастотного датчика товщини провідних плівок на діелектричній основі [Текст] / К.С. Левченко, А.Р. Лаврук, В.С. Бадай; кер. О.І. Лєпіхов, І.П. Бурик // Перший крок у науку: матеріали VІІ студентської конференції, м. Суми, 20 грудня 2015 р. / Відп. за вип. М.Б. Оприско. — Суми: СумДУ, 2015. — С. 65-66.
Abstract	Відомо, що в більшості випадків властивості плівок визначаються їх товщиною. Однак контролювання та вимірювання останньої залишається проблемною задачею. На сьогодні розвинуті різні методи вимірювання товщини плівок.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)