Псевдоморфний ріст аморфної фази при магнетронному розпиленні

Космінська, Юлія Олександрівна; Перекрестов, Вячеслав Іванович; Коваль, М.О.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43813

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Псевдоморфний ріст аморфної фази при магнетронному розпиленні
Authors	Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Perekrestov, Viacheslav Ivanovych Коваль, М.О.
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-2175-9206
Keywords	плівки пленки film
Type	Conference Papers
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43813
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Коваль, М.О. Псевдоморфний ріст аморфної фази при магнетронному розпиленні [Текст] / М.О. Коваль, Ю.О. Космінська, В.І. Перекрестов // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 22-27 квітня 2013 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2013. - С. 69.
Abstract	Дана робота присвячена розв'язку експериментальної задачі отримання надтонких суцільних металевих шарів на діелектричних підкладках. Головною проблемою на шляху вирощування таких шарів є фундаментальні особливості нуклеації плівок, в тому числі явище перколяції, тобто формування досить великих острівців металу на початкових етапах росту плівки та їх поступове зрощування в процесі осадження. Товщина суцільної плівки, яка відповідає саме порогу перколяції, може становити величину більше 20 нм. Таким чином, для зменшення товщини плівки необхідно або знижувати поріг перколяції, або уникати формування тривимірних острівців.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)