Применение микроволновой сканирующей микроскопии в производстве нанокомпонент

Рыбалко, Александр Александрович; Кобрик, А.А.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43872

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Применение микроволновой сканирующей микроскопии в производстве нанокомпонент
Authors	Rybalko, Oleksandr Oleksandrovych Кобрик, А.А.
ORCID
Keywords	скануюча мікрохвильова мікроскопія сканирующая микроволновая микроскопия scanning microwave microscopy
Type	Conference Papers
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43872
Publisher	Сумский государственный университет
License
Citation	Кобрик, А.А. Применение микроволновой сканирующей микроскопии в производстве нанокомпонент [Текст] / А.А. Кобрик, А.А. Рибалко // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 22-27 квітня 2013 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2013. - С. 78.
Abstract	Сканирующая микроволновая микроскопия (СММ) относится к современному направлению экспериментальных исследований материалов и объектов с наноразмерной разрешающей способностью. Наибольшее развитие СММ достигла в области диагностики высокотемпературных полупроводниковых материалов и структур.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)