Вплив температури підкладки та подальшого відпалювання на ГМО тришарових плівок Co/Cu/Fe/П

Лобода, В.Б.; Шкурдода, Ю.О.; Коломієць, В.М.; Хурсенко, С.М.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43965

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Вплив температури підкладки та подальшого відпалювання на ГМО тришарових плівок Co/Cu/Fe/П
Authors	Лобода, В.Б. Шкурдода, Ю.О. Коломієць, В.М. Хурсенко, С.М.
ORCID
Keywords	тришарові плівки трехслойные пленки three-layer films
Type	Conference Papers
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43965
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Вплив температури підкладки та подальшого відпалювання на ГМО тришарових плівок Co/Cu/Fe/П [Текст] / В.Б. Лобода, Ю.О. Шкурдода, В.М. Коломієць, С.М. Хурсенко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 22-27 квітня 2013 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2013. - С. 116.
Abstract	Відомо, що одним із важливих факторів впливу на якість кристалічної структури, фазовий стан, кількість дефектів, макронапруження тощо є температура підкладки (Т[п]) під час конденсації.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)