Электронно-микроскопические исследования кремния, имплантированного мышьяком

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4400

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Электронно-микроскопические исследования кремния, имплантированного мышьяком
Authors	Kulmentieva, Olha Petrivna Клименко, П.М.
ORCID
Keywords	ионная имплантация исследование кремния іонна імплантація дослідження кремнію ion implantation research silicon
Type	Conference Papers
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4400
Publisher	Издательство СумГУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Электронно-микроскопические исследования кремния, имплантированного мышьяком [Текст] / П.М. Клименко, О.П. Кульментьева // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. — Суми : СумДУ, 2008. — Т.1. — C. 121.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)