Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/44281
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Моделирование проникновения ионов в материал при имплантации
Authors Черный, А.А.
Мащенко, С.В.
Гончаров, В.В.
ORCID
Keywords іонна імплантація
ионная имплантация
ion implantation
Type Conference Papers
Date of Issue 2013
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/44281
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation Черный, А.А. Моделирование проникновения ионов в материал при имплантации [Текст] / А.А. Черный, С.В. Мащенко, В.В. Гончаров // Інформатика, математика, автоматика : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 22-27 квітня 2013 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2013. - С. 148.
Abstract Ионная имплантация занимает одно из ведущих мест среди радиационно-пучковых технологий модифицирования материалов. Благодаря экономичному расходу активных компонентов её применение перспективно не только в микро- и наноэлектронике, но и в технологиях получения катализаторов большого спектра действия.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Australia Australia
1
Canada Canada
1
China China
1
Denmark Denmark
1
France France
1
Germany Germany
4
Ireland Ireland
6045
Italy Italy
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
356
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
38754
United Kingdom United Kingdom
20087
United States United States
273129
Unknown Country Unknown Country
6

Downloads

Germany Germany
2
India India
1
Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
38755
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
338391
Unknown Country Unknown Country
4

Files

File Size Format Downloads
Chornyi_implantatsiia.pdf 314.3 kB Adobe PDF 377155

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.