Математичні моделі сенсорів мікропереміщень та тиску на основі збурення електричного поля поверхневих акустичних хвиль

Жовнір, М.Ф.; Олійник, О.О.; Писаренко, Л.Д.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/44854

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Математичні моделі сенсорів мікропереміщень та тиску на основі збурення електричного поля поверхневих акустичних хвиль
Other Titles	Математические модели сенсоров микроперемещений и давления на основе возмущения электрического поля поверхностных акустических волн Mathematical Models of Pressure and Microdisplacement Sensors Based on Electric Field Perturbation of the Surface Acoustic Waves
Authors	Жовнір, М.Ф. Олійник, О.О. Писаренко, Л.Д.
ORCID
Keywords	Поверхневі акустичні хвилі (ПАХ) Дисперсія фазової швидкості хвилі ПАХ- генератор Сенсор мікропереміщень та тиску Поверхностные акустические волны (ПАВ) Дисперсия фазовой скорости волны ПАВ-генератор Сенсор микроперемещений и давления Surface acoustic waves (SAW) Dispersion of the phase velocity of the wave SAW oscillator Microdisplacement and pressure sensor
Type	Article
Date of Issue	2016
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/44854
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	М.Ф. Жовнір, О.О. Олійник, Л.Д. Писаренко, Ж. нано- електрон. фіз. 8 № 1, 01024 (2016)
Abstract	Приведено функціональні схеми, математичні моделі та оцінка метрологічних параметрів сенсорів мікропереміщень та тиску на основі збурення електричного поля поверхневих акустичних хвиль (ПАХ), що поширюються на поверхні п'єзоелектрика. Приведены функциональные схемы, математические модели и оценка метрологических параметров сенсоров микроперемещений и давления на основе возмущения электрического поля поверхностных акустических волн (ПАВ), которые распространяются на поверхности пьезоэлектрика. The paper describes the functional charts, mathematical models and metrological parameters estimation of microdisplacements and pressure sensors on the basis of the electric field perturbation of the surface acoustic waves (SAW), which are distributed on the surface of a piezoelectric.
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)