Вимірювання елементного складу матеріалів за допомогою електронного спектра мас

Косуля, О.В.; Вербицький, В.Г.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45521

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Вимірювання елементного складу матеріалів за допомогою електронного спектра мас
Other Titles	Measurement of the Elemental Composition of Materials by Electron Mass Spectrum Измерение элементного состава материалов с помощью електронного спектра масс
Authors	Косуля, О.В. Вербицький, В.Г.
ORCID
Keywords	Мас-спектрометрія Магнітний аналізатор Детектор іонів Координатно-чутливий детектор Мікроканальна пластина Масс-спектрометрия Магнитный анализатор Детектор ионов Координатно-чувствительный детектор Микроканальная пластина Mass spectrometry Magnetic analyzer Ion detector Coordinate-sensitive detector Microchannel plate
Type	Article
Date of Issue	2016
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45521
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	О.В. Косуля, В.Г. Вербицький, Ж. нано- електрон. фіз. 8 № 2, 02038 (2016)
Abstract	Робота присвячена конструкції багатоканального детектора у складі мас-спектрометра, який реалізує функції реєстрації, перетворення іон-лавина електронів та видачі інформації про їх кількість у кожному з каналі у вигляді логічних сигналів. Адаптації мас-спектрометра для роботи з експериментальними зразками приладів в якості детектора іонів і дослідженню експериментальних зразків приладів в складі мас-спектрометра. Работа посвящена конструкции многоканального детектора в составе масс-спектрометра, который реализует функции регистрации, преобразования ион-лавина электронов и выдачи информации об их количестве в каждом из каналов в виде логических сигналов. Адаптации масс-спектрометра для работы с экспериментальными образцами приборов в качестве детектора ионов и исследованию экспериментальных образцов приборов в составе масс-спектрометра. The work is concerned with a multichannel detector consisting of mass spectrometer that implements the functions of registration, generation of ion-electron avalanche and giving out information about their number in each channel in the form of logical signals. Mass spectrometer was adapted for the work as an ion detector with experimental samples of the devices and for the study of experimental samples of devices in assembly with the mass spectrometer.
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)