Влияние высокоэнтропийных составляющих нитридных слоев на содержание азота и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N

Береснев, В.М.; Соболь, О.В.; Литовченко, С.В.; Немченко, У.С.; Столбовой, В.А.; Колесников, Д.А.; Мейлехов, А.А.; Постельник, А.А.; Турбин, П.В.; Маликов, Л.В.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45663

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Влияние высокоэнтропийных составляющих нитридных слоев на содержание азота и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N
Other Titles	Вплив високоентропійних складових нітридних шарів на вміст азоту і твердість вакуумно-дугових багатошарових покриттів (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N Effect of High-Entropy Components of Nitride Layers on Nitrogen Content and Hardness of (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N Vacuum-Arc Multilayer Coatings
Authors	Береснев, В.М. Соболь, О.В. Литовченко, С.В. Немченко, У.С. Столбовой, В.А. Колесников, Д.А. Мейлехов, А.А. Постельник, А.А. Турбин, П.В. Маликов, Л.В.
ORCID
Keywords	Многослойная пленочная система Кристаллическая структура Фазовый состав Анизотропное магнитосопротивление Спин-зависимое рассеяние электронов Багатошарове покриття (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N Вміст азоту Структура Тиск робочого газу Твердість Multilayer coating (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N Nitrogen content Structure Process gas pressure Hardness
Type	Article
Date of Issue	2016
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45663
Publisher	Сумский государственный университет
License
Citation	В.М. Береснев, О.В. Соболь, С.В. Литовченко, и др., Ж. нано- электрон. физ. 8 № 2, 02057 (2016)
Abstract	Используя методы элементного анализа, рентгеноструктурных исследований и измерения микротвердости, необходимые для проведения комплексных исследований по схеме: состав – структура – свойства, исследованы возможности структурной инженерии многослойных (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N покрытий. Установлено, что введение второго слоя из высокоэнтропийного сплава даже при относительно малом содержании составляющих элементов (до 1 мас. %) сопровождается формированием фазы на основе ГЦК решетки твердого раствора. Переход от однослойных TiN-Cu покрытий к многослойной системе (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N сопровождается повышением относительного содержания азота в покрытии и ростом твердости, достигающей 24,5 ГПа. Застосовуючи методи елементного аналізу, рентгеноструктурних досліджень і вимірювання мікротвердості, які необхідні для проведення комплексних досліджень за схемою: склад – структура – властивості, досліджені можливості структурної інженерії багатошарових (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N покриттів. Встановлено, що введення другого шару з високоентропійного сплаву навіть за умов відносно малого вмісту складових елементів (до 1 мас. %) супроводжується формуванням фази на основі ГЦК ґратки твердого розчину. Перехід від одношарових TiN-Cu покриттів до багатошарової системи (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N супроводжується підвищенням відносного вмісту азоту в покритті і зростанням твердості, яка досягає значення 24,5 ГПа. An integrated research of links in the “content-structure-properties” chain in structural engineering of (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N multilayer coatings was carried out with application of elemental and X-ray diffraction analysis as well as microhardness testing. It has been found that formation of the second layer based on a high-entropy alloy even with a relatively small content of components (below 1 wt %) leads to formation of a solid solution FCC lattice phase. Compared to TiN-Cu singlelayer coatings, the multilayer coating based on a (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N system has an increased nitrogen content and an enhanced hardness of up to 24.5 GPa.
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)