Електрофізичні властивості тонких плівок Ru

Логвинов, Андрій Миколайович; Распутько, Ю.В.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45761

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Електрофізичні властивості тонких плівок Ru
Authors	Lohvynov, Andrii Mykolaiovych Распутько, Ю.В.
ORCID	http://orcid.org/0000-0001-5496-3345
Keywords	тонкі плівки тонкие пленки thin films електрофізичні властивості электрофизические свойства electrical properties
Type	Conference Papers
Date of Issue	2016
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45761
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Распутько, Ю.В. Електрофізичні властивості тонких плівок Ru [Текст] / Ю.В. Распутько, А.М. Логвинов; кер. І.В. Чешко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С.123.
Abstract	Нанорозмірні плівки Ru різними авторами використовуються як захисні шари завдяки своїй високій стабільності контактного опору і високій механічній твердості. У поєднанні з магнітними металами VIII групи (Co, Fe та Ni) вони розглядаються як перспективний матеріал для створення стійких функціональних структур спін-клапаного типу. Однак, надзвичайна рідкість і важкість отримання чистого Ru довгий час не дозволяли вивчити електрофізичні властивості як одношарових плівок, так і сплівів на його основі. У даній роботі наведені результати дослідження структурно-фазоого стану та електрофізичних властивостей одношарових плівок Ru у інтервалі товщин від 10 до 80 нм отриманих методом термічного осадження у вакуумі на очищені сіталові підкладки або вуглецеві плівки товщиною 20 нм.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)