Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45764
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Дифузійні бар'єри мікросхем на основі плівок W і Ti |
Authors |
Подуремне, Д.В.
|
ORCID | |
Keywords |
плівки пленки films кристали кристаллы crystals |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2016 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45764 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | |
Citation | Подуремне, Д.В. Дифузійні бар'єри мікросхем на основі плівок W і Ti [Текст] / Д.В. Подуремне; кер. І.Ю. Проценко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 163. |
Abstract |
На сучасному етапі розвитку мікроелектроніки актуальною залишається проблема термічної стабільності металізації кристалів. Для вирішення даної проблеми сформовані різні види багатошарових систем металізації, які у самому загальному випадку містять три основних шару: адгезійний, бар'єрний і захисний. При тривалому високотемпературному і струмовому навантаженні відбувається деградація мікроелектронної структури, а саме: втрата адгезії металізації; руйнування з'єднань між шарами; розплавлення бар'єрного шару. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views
Canada
1
China
1
Cyprus
1
Finland
1
France
1
Germany
7963
Ireland
175416
Italy
1
Lithuania
1
Mexico
1
Netherlands
1991
Romania
1
Sweden
1
Ukraine
104205688
United Kingdom
4004144
United States
200407072
Unknown Country
316806587
Downloads
China
1
Germany
3
Ireland
1
Israel
1
Lithuania
1
Russia
1
Ukraine
104205689
United Kingdom
1
United States
200407074
Unknown Country
2
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Poduremne_crystals.pdf | 463.58 kB | Adobe PDF | 304612774 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.