Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45830
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Роль азота в формировании наноколонарных пленок нитрида углерода при реактивном магнетронном осаждении |
Authors |
Пасько, М.И.
Прудников, А.М. |
ORCID | |
Keywords |
магнетронне розпилення магнетронное распыление agnetron sputtering атоми атомы atoms |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2016 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45830 |
Publisher | Сумский государственный университет |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Пасько, М.И. Роль азота в формировании наноколонарных пленок нитрида углерода при реактивном магнетронном осаждении [Текст] / М.И. Пасько, А.М. Прудников // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 90. |
Abstract |
Наноструктурный нитрид углерода имеет большие перспективы применения от водородной энергетики до функциональных сенсорных элементов. Одним из методов получения такого рода материалов является магнетронное распыление. Особенностью магнетронного разряда является образование быстрых атомов и вторичных электронов в результате бомбардировки катода ионами, которые обеспечивают самоподдерживающийся разряд. Из-за большей плотности атомов распыляемого вещества по сравнению с плотностью атомов насыщенного пара происходит нуклеация пара, приводящая к образованию кластеров. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views

1

2

1154392

3

1

16220

1

415

4

1

1

109396

55527

395610

13
Downloads

2

1

1731588

3

1

1

5

1

214024

1

577195

2
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Pasko_atoms.pdf | 452.96 kB | Adobe PDF | 2522824 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.