Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері |
Authors |
Chaliuk, Roman Yuriiovych
Diachenko, Oleksii Viktorovych Diachenko, Oleksii Viktorovych Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna Рибальський, Я.І. |
ORCID |
http://orcid.org/0000-0003-2312-5255 http://orcid.org/0000-0003-2312-5255 |
Keywords |
плівки пленки film напівпровідникові сполуки полупроводниковые соединения compound semiconductor |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2016 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | |
Citation | Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері [Текст] / Я.І. Рибальський, Р.Ю. Чалюк, О.В. Д'яченко, Н.М. Опанасюк // Фізика, електроніка, електротехніка матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 191. |
Abstract |
Останнім часом для нанесення плівок полікристалічних матеріалів все більшу увагу привертають безвакуумні методи. Одним перспективних вважається метод спрей-піролізу, який дає змогу отримувати хімічно чисті плівки з керованим складом різної товщини при низьких температурах. Однак, за традиційною схемою розпилення прекурсору, що проводиться у повітрі й призводить до окислення матеріалів майбутньої плівки киснем. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views
Canada
1
Chile
1
China
17685819
EU
1
Finland
1
France
2
Germany
14806
Greece
1
Ireland
104868
Italy
1
Japan
1
Lithuania
1
Netherlands
2469
Sweden
1
Ukraine
3174425
United Kingdom
1692083
United States
35371605
Unknown Country
61220511
Downloads
China
694596
Germany
61220511
Japan
1
Lithuania
1
Peru
1
Ukraine
9522700
United Kingdom
1
United States
35371606
Unknown Country
8
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Chaliuk_film.pdf | 440.03 kB | Adobe PDF | 106809425 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.