Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері

Чалюк, Роман Юрійович; Д`яченко, Олексій Вікторович; Д'яченко, Олексій Вікторович; Опанасюк, Надія Миколаївна; Рибальський, Я.І.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері
Authors	Chaliuk, Roman Yuriiovych Diachenko, Oleksii Viktorovych Diachenko, Oleksii Viktorovych Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna Рибальський, Я.І.
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-2312-5255 http://orcid.org/0000-0003-2312-5255
Keywords	плівки пленки film напівпровідникові сполуки полупроводниковые соединения compound semiconductor
Type	Conference Papers
Date of Issue	2016
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері [Текст] / Я.І. Рибальський, Р.Ю. Чалюк, О.В. Д'яченко, Н.М. Опанасюк // Фізика, електроніка, електротехніка матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 191.
Abstract	Останнім часом для нанесення плівок полікристалічних матеріалів все більшу увагу привертають безвакуумні методи. Одним перспективних вважається метод спрей-піролізу, який дає змогу отримувати хімічно чисті плівки з керованим складом різної товщини при низьких температурах. Однак, за традиційною схемою розпилення прекурсору, що проводиться у повітрі й призводить до окислення матеріалів майбутньої плівки киснем.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)