Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/47313
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Високоефективне напилення шаруватих структур періодичними лазерними імпульсами |
Authors |
Жигуц, Ю.Ю.
Опачко, І.І. |
ORCID | |
Keywords |
напилення напыление spraying лазерні імпульси лазерные импульсы laser pulses |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2016 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/47313 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Жигуц, Ю.Ю. Високоефективне напилення шаруватих структур періодичними лазерними імпульсами [Текст] / Ю.Ю. Жигуц, І.І. Опачко // Системи розроблення та поставлення продукції на виробництво : матеріали I Міжнародної науково-практичної конференції, м. Суми, 17-20 травня 2016 р. / Ред.кол.: О.Г. Гусак, К.О. Дядюра. - Суми : СумДУ, 2016. - С. 215-216. |
Abstract |
Для оптимізації технологічного процесу ефективного
застосування ексимерних лазерів для потреб плівкових технологій необхідна
інформація про основні параметри пари, що конденсується на підкладку.
Однак, в небагатьох попередніх працях, в яких досліджувались властивості
плівок, отриманих розпиленням мішені наносекундними лазерними
імпульсами, властивості парової фази практично не досліджувались. В той же
час, мас-спектрометричні та зондові дослідження парової фази дають змогу
визначити ряд важливих параметрів конденсації, оптимізувати сам процес
осадження, внести ясність в розуміння фізики випаровування складних
мішеней. Після аналізу стану перерахованих вище проблем була сформована
мета даної роботи. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ТеСЕТ) |
Views

1

1

1

2

711

1

2667

2

1

33772

17064

175862

13
Downloads

3

1

1

67388

1

175863

7
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Zhyguts_Opachko.pdf | 1.1 MB | Adobe PDF | 243264 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.