Високоефективне напилення шаруватих структур періодичними лазерними імпульсами

Жигуц, Ю.Ю.; Опачко, І.І.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/47313

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Високоефективне напилення шаруватих структур періодичними лазерними імпульсами
Authors	Жигуц, Ю.Ю. Опачко, І.І.
ORCID
Keywords	напилення напыление spraying лазерні імпульси лазерные импульсы laser pulses
Type	Conference Papers
Date of Issue	2016
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/47313
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Жигуц, Ю.Ю. Високоефективне напилення шаруватих структур періодичними лазерними імпульсами [Текст] / Ю.Ю. Жигуц, І.І. Опачко // Системи розроблення та поставлення продукції на виробництво : матеріали I Міжнародної науково-практичної конференції, м. Суми, 17-20 травня 2016 р. / Ред.кол.: О.Г. Гусак, К.О. Дядюра. - Суми : СумДУ, 2016. - С. 215-216.
Abstract	Для оптимізації технологічного процесу ефективного застосування ексимерних лазерів для потреб плівкових технологій необхідна інформація про основні параметри пари, що конденсується на підкладку. Однак, в небагатьох попередніх працях, в яких досліджувались властивості плівок, отриманих розпиленням мішені наносекундними лазерними імпульсами, властивості парової фази практично не досліджувались. В той же час, мас-спектрометричні та зондові дослідження парової фази дають змогу визначити ряд важливих параметрів конденсації, оптимізувати сам процес осадження, внести ясність в розуміння фізики випаровування складних мішеней. Після аналізу стану перерахованих вище проблем була сформована мета даної роботи.
Appears in Collections:	Наукові видання (ТеСЕТ)