Многослойные нитридные покрытия (TiZrNbHf)N/MoN

Abstract

Показано, что при невысоком отрицательном потенциале смещения, подаваемом на подложку при осаждении (Uсм менее 150 В), в многослойных покрытиях с толщиной слоев около 50 нм можно достичь двухфазного состояния с преимущественной ориентацией кристаллитов. Это обуславливает вы- сокую твердость (до 59 ГПа) и одновременно высокую адгезионную прочность (критическая нагрузка достигает 124,9 Н). Наблюдается низкий износ покрытия при взаимодействии с контртелом из Al[2]O[3].

Показано, что при невысоком отрицательном потенциале смещения, подаваемом на подложку при осаждении (Uсм менее 150 В), в многослойных покрытиях с толщиной слоев около 50 нм можно достичь двухфазного состояния с преимущественной ориентацией кристаллитов. Это обуславливает вы- сокую твердость (до 59 ГПа) и одновременно высокую адгезионную прочность (критическая нагрузка достигает 124,9 Н). Наблюдается низкий износ покрытия при взаимодействии с контртелом из Al[2]O[3].

It is shown that at low negative bias potential applied to the substrate during the deposition (Ub lesser than 150 V), a two-phase state with the preferred orientation of crystallites can be reached for the multilayer coatings with the thickness of layers of 50 nm. This causes high hardness (up to 59 GPa) and high adhesion strength at the same time (critical load reaches 124.9 N). Low wear resistance of the coatings in contact with the counterbody of Al[2]O[3] is observed.