П’єзоелектричні плівкові хвилеводи поверхневих акустичних хвиль

Abstract

Приведено результати математичного моделювання п’єзоелектричних плівкових хвилевідних структур поверхневих акустичних хвиль (ПАХ) на базі плівки ZnO на підкладці із плавленого кварцу. Отримані аналітичні співвідношення та результати чисельних розрахунків дозволяють визначати конструктивні параметри хвилевідних структур для забезпечення одномодового режиму поширення ПАХ. Результати експериментальних досліджень амплітуди та фази ПАХ у хвилевідних структурах, проведених на лазерній установці оптичного зондування, підтверджують теоретичні розрахунки

Приведены результаты математического моделирования пьезоэлектрических пленочных волноводных структур поверхностных акустических волн (ПАВ) на основе пленки ZnO на подложке из плавленого кварца. Полученные аналитические соотношения и результаты численных расчетов позволяют определять конструктивные параметры волноводных структур для обеспечения одномодового режима распространения ПАВ. Результаты экспериментальных исследований амплитуды и фазы ПАВ в волноводных структурах, проведенных на лазерной установке оптического зондирования, подтверждают теоретические расчеты.

The paper presents results of mathematical modeling of piezoelectric film waveguide structures for surface acoustic waves (SAW). Piezoelectric ZnO film is supposed to be placed on a fused quartz substrate. The analytical ratios and numerical results allow to determine the design parameters of the waveguide structures to provide a single-mode SAW propagation mode. The results of amplitude and phase experimental studies of the SAW in the waveguide structures that were carried out on the laser optical sensing set up confirm the theoretical calculations.