Розробка та виготовлення експериментальних зразків приладів для аналізу багатоелементних за складом речовин в реальному масштабі часу в складі мас-спектрометра

Abstract

Визначені переваги складання ВІС на гнучкому носії. Розроблена топологія гнучкого носія та виготовилений гнучкий носій. Складені зразки ВІС на гнучкому носії, які являють собою кристал, приєднаний з боку діелектрика на тонку гнучку плату з алюмінієвими доріжками, які розташовані на поліімідній основі. Визначені технологічні умови та послідовність складання експериментальних зразків приладів. Складені експериментальні зразки приладів для аналізу багатоелементних за складом речовин в реальному масштабі часу в складі мас-спектрометра.

Определены преимущества составления БИС на гибком носителе. Разработана топология гибкого носителя и изготовлен гибкий носитель. Составленные образцы БИС на гибком носителе, которые представляют собой кристалл, присоединенный со стороны диэлектрика на тонкую гибкую плату с алюминиевыми дорожками, которые расположены на полиимидной основе. Определены технологические условия и последовательность сборки экспериментальных образцов приборов. Составлены экспериментальные образцы приборов для анализа многоэлементных по составу веществ в реальном масштабе времени в составе масс-спектрометра.

The paper discloses advantages of the LSI assembly on a flexible carrier. The paper develops the topology of the flexible carrier and manufacturing of a flexible carrier. LSI samples have been composed on flexible carrier represented by a crystal attached by a dielectric on a thin flexible board with aluminium tracks located on polyimide basis. There are determined manufacturing specifications and the assembly sequence for experimental device samples. The authors constructed the experimental samples of devices for real time multi-element analysis of substances as a component of the mass-spectrometer.