Фазообразование и электрофизические свойства тонкопленочных систем на основе Ті и Аl в условиях изотермического отжига

Abstract

Представлены результаты исследования влияния температурной обработки на фазообразование и электрофизические свойства двухслойных пленочных систем на основе Ті и Аl с одинаковой относительной концентрацией компонент. Показано, что изотермический отжиг при температуре 820 К приводит к образованию интерметаллической фазы ТіА13. Этот процесс сопровождается значительным увеличением удельного электрического сопротивления пленочной системы. // Укр. версія: Представлені результати дослідження впливу температурної обробки на фазоутворення та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем на основі Ті і А1 з однаковою відносною концентрацією компонент. Показано, що ізотермічне відпалювання при температурі 820 К призводить до утворення інтерметалідної фази ТіА13. Цей процес супроводжується значним збільшенням питомого електричного опору плівкової системи. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/510