Температурні та розмірні ефекти в електрофізичних властивостях двошарових плівок на основі Ni і V

Abstract

Комплексне дослідження фазового складу, кристалічної структури і дифузійних процесів показало, що, змінюючи співвідношення товщин окремих шарів і підбираючи режими термообробки, можна сформувати заданий структурно-фазовий стан зразків — від двошарової плівки до твердого розчину по всьому об`єму зразка. Порівняння експериментальних значень з розрахованими в рамках теоретичних моделів для термічного коефіцієнта опору (ТКО) двошарових плівок або співвідношення для плівкових стопів вказує на кореляцію величини ТКО і структурно-фазового стану плівкових систем. // Русск. версия: Комплексное исследование фазового состава, кристаллической структуры и диффузионных процессов показало, что, изменяя соотношение толщин от¬дельных слоев и подбирая режимы термообработки, можно сформировать определенное структурно-фазовое состояние образцов — от двухслойной пленки до твердого раствора по всему объему образца. Сравнение экспери¬ментальных значений с рассчитанными в рамках теоретических моделей для термического коэффициента сопротивления (ТКС) двухслойных пленок или формулы для пленочных сплавов указывает на существование корреляции величины ТКС и фазово-структурного состояния пленочных систем. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/530