Процеси фазоутворення у багатошарових плівкових системах на основі алюмінію та титану

Воробйов, Сергій Ігорович; Степаненко, Андрій Олександрович; Чорноус, Анатолій Миколайович; Шабельник, Юрій Михайлович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/550

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Процеси фазоутворення у багатошарових плівкових системах на основі алюмінію та титану
Authors	Vorobiov, Serhii Ihorovych Stepanenko, Andrii Oleksandrovych Chornous, Anatolii Mykolaiovych Shabelnyk, Yurii Mykhailovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-5884-3292 http://orcid.org/0000-0003-0105-0440 http://orcid.org/0000-0002-5009-5445 http://orcid.org/0000-0002-7516-5518
Keywords	плівкові системи електрофізичні властивості фазовий склад пленочные системы электрофизические свойства фазовый состав thin films electro-physical properties phase composition
Type	Article
Date of Issue	2009
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/550
Publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
License	Copyright not evaluated
Citation	Процеси фазоутворення у багатошарових плівкових системах на основі алюмінію та титану [Текст] / С.І. Воробйов, А.О. Степаненко, А.М. Чорноус, Ю.М. Шабельник // Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishіe Tekhnol. 2009, т. 31, № 6, сс. 837-845.
Abstract	Досліджено процеси фазоутворення у плівкових системах на основі Ті й Аl, яких одержано пошаровою конденсацією на підложжя, що переміщується з високою частотою між термічними випарниками відповідних первнів. Показано, що формування фази Ті3А1 відбувається у процесі конденсації системи Ті0,8А10,2, а фази ТіА13 — після відпалювання до 900 К плівкової системи Ті0,2А10,8. Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями таких плівкових систем. // Русск. версия: Исследованы процессы фазообразования в пленочных системах на основе Ті и А1, которые получены послойной конденсацией на подложку, перемещаемую с высокой частотой между термическими испарителями соответствующих элементов. Показано, что формирование фазы Ті3А1 происходит в процессе конденсации системы Ті0,8А10,2, а фазы ТіА13 — после отжига до 900 К пленочной системы Ті0,2А10,8. Установлена корреляция между фазовым составом и электрофизическими свойствами таких пленочных систем. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/550
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)