Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/551
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Вплив температурної обробки на електрофізичні властивості та фазовий склад двошарових плівок на основі титану і алюмінію або ніклю
Authors Stepanenko, Andrii Oleksandrovych  
Hrychanovska, Tetiana Mykhailivna
Chornous, Anatolii Mykolaiovych  
ORCID http://orcid.org/0000-0003-0105-0440
http://orcid.org/0000-0002-5009-5445
Keywords плівкові системи
електрофізичні властивості
фазовий склад
пленочные системы
электрофизические свойства
фазовый состав
thin films
electro-physical properties
phase composition
Type Article
Date of Issue 2007
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/551
Publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
License
Citation Степаненко, А.О. Вплив температурної обробки на електрофізичні властивості та фазовий склад двошарових плівок на основі титану і алюмінію або ніклю [Текст] / А.О. Степаненко, Т.М. Гричановська, А.М. Чорноус // Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishіe Tekhnol. 2007, т. 29, № 9, сс. 1221-1229.
Abstract Досліджено вплив температурної обробки на питомий електричний опір, температурний коефіцієнт опору і фазовий склад двошарових плівкових систем на основі Ті й Аl та Ті й Nі, загальна товщина яких не перевищує 100 нм. Показано, що відпалювання зразків при Тв = 800 К призводить до твердофазних реакцій між А1 і оксидом Ті (плівки Ті/Аl) та Ті й Nі (плівки Nі/Ті), продуктами яких є ТіА13 і Nі3Ті (у зразках, відпалених до 900-1000 К, фіксуються фази NiТі і NiТі2). Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями двошарових плівкових систем. // Русск. версия: Исследовано влияние температурной обработки на удельное электрическое сопротивление, температурный коэффициент сопротивления и фазовый состав двухслойных пленочных систем на основе Ті и А1 или Ті и Nі, общая толщина которых не превышала 100 нм. Показано, что отжиг пленок при То = 800 К приводит к твердофазным реакциям между А1 и окислом Ті (пленки Ті/Аl) или Ті и Nі (пленки Nі/Ті), продуктами которых являются ТіА13 и Nі3Ті (в отожженных до 900-1000 К образцах фиксируются фазы NіТі и NіТі2). Установлена корреляция между фазовым составом и электрофизическими свойствами двухслойных пленочных систем. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/551
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

China China
22
Czechia Czechia
1
France France
202758
Germany Germany
548
Hong Kong SAR China Hong Kong SAR China
1
Iran Iran
2
Ireland Ireland
1261134856
Japan Japan
-1986194035
Kazakhstan Kazakhstan
1
Lithuania Lithuania
1
Morocco Morocco
1
Netherlands Netherlands
202756
Romania Romania
1
Russia Russia
27
Singapore Singapore
1
Slovakia Slovakia
1
Sweden Sweden
1
Turkey Turkey
11
Ukraine Ukraine
69391
United Kingdom United Kingdom
1885274084
United States United States
322579225
Unknown Country Unknown Country
190897

Downloads

China China
2
France France
1
Germany Germany
526875544
Indonesia Indonesia
1
Ireland Ireland
1261134855
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
1152295045
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
1483460552
Unknown Country Unknown Country
297
Vietnam Vietnam
1

Files

File Size Format Downloads
1639.pdf 1.86 MB Adobe PDF 128799005

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.