Вплив температурної обробки на електрофізичні властивості та фазовий склад двошарових плівок на основі титану і алюмінію або ніклю

Abstract

Досліджено вплив температурної обробки на питомий електричний опір, температурний коефіцієнт опору і фазовий склад двошарових плівкових систем на основі Ті й Аl та Ті й Nі, загальна товщина яких не перевищує 100 нм. Показано, що відпалювання зразків при Тв = 800 К призводить до твердофазних реакцій між А1 і оксидом Ті (плівки Ті/Аl) та Ті й Nі (плівки Nі/Ті), продуктами яких є ТіА13 і Nі3Ті (у зразках, відпалених до 900-1000 К, фіксуються фази NiТі і NiТі2). Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями двошарових плівкових систем. // Русск. версия: Исследовано влияние температурной обработки на удельное электрическое сопротивление, температурный коэффициент сопротивления и фазовый состав двухслойных пленочных систем на основе Ті и А1 или Ті и Nі, общая толщина которых не превышала 100 нм. Показано, что отжиг пленок при То = 800 К приводит к твердофазным реакциям между А1 и окислом Ті (пленки Ті/Аl) или Ті и Nі (пленки Nі/Ті), продуктами которых являются ТіА13 и Nі3Ті (в отожженных до 900-1000 К образцах фиксируются фазы NіТі и NіТі2). Установлена корреляция между фазовым составом и электрофизическими свойствами двухслойных пленочных систем. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/551