Дослідження і прогнозування тензорезистивних властивостей плівкових систем на основі Cr, Cu і Sc

Abstract

Проведено подальші дослідження ефекту тензочутливості в тришарових плівкових системах на основі Cr, Cu і Sc. Виходячи із теоретичної моделі тензоефекту, яка враховує деформаційну залежність не лише середньої довжини вільного пробігу електронів, але і коефіцієнтів дзеркальності поверхні плівки, проходження межі зерен та межі поділу шарів, розраховано тривимірні діаграми залежності коефіцієнта поздовжньої тензочутливості від товщини двох шарів при фіксованій товщині третього. // Русск. версия: Проведены дальнейшие исследования эффекта тензочувствительности в трехслойных пленочных системах на основе Cr, Cu и Sc. Исходя из теоретической модели тензоэффекта, учитывающей деформационную зависимость не только средней длины свободного пробега электронов, но и коэффициентов зеркальности поверхности пленки, прохождения границы зерен и границы раздела слоев, рассчитаны трехмерные диаграммы зависимости коэффициента продольной тензочувствительности от толщины двух слоев при фиксированной толщине третьего. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/617