Формування кристалічної структури і електрофізичних властивостей плівкових матеріалів на основі багатошарових металевих наносистем

Проценко, Іван Юхимович; Чорноус, Анатолій Миколайович; Однодворець, Лариса Валентинівна; Проценко, Сергій Іванович; Шумакова, Наталія Іванівна; Пазуха, Ірина Михайлівна; Говорун, Тетяна Павлівна; Лободюк, Олена Сергіївна; Соломаха, Володимир Анатолійович; Степаненко, Андрій Олександрович; Бурик, І.П.; Дудецький, Д.П.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/6195

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Формування кристалічної структури і електрофізичних властивостей плівкових матеріалів на основі багатошарових металевих наносистем
Authors	Protsenko, Ivan Yukhymovych Chornous, Anatolii Mykolaiovych Odnodvorets, Larysa Valentynivna Protsenko, Serhii Ivanovych Shumakova, Nataliia Ivanivna Pazukha, Iryna Mykhailivna Hovorun, Tetiana Pavlivna Lobodiuk, Olena Serhiivna Solomakha, Volodymyr Anatoliiovych Stepanenko, Andrii Oleksandrovych Бурик, І.П. Дудецький, Д.П.
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-3351-9303 http://orcid.org/0000-0002-5009-5445 http://orcid.org/0000-0002-8112-1933 http://orcid.org/0000-0002-8070-1610 http://orcid.org/0000-0001-9410-3024 http://orcid.org/0000-0002-9384-5250 http://orcid.org/0000-0003-0105-0440
Keywords	твердий розчин структурно-фазовий стан дифузія
Type	Technical Report
Date of Issue	2007
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/6195
Publisher	Видавництво СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Формування кристалічної структури і електрофізичних властивостей плівкових матеріалів на основі багатошарових металевих наносистем : звіт про НДР (проміжний) / Керівн. І.Ю. Проценко. - Суми : СумДУ, 2007. - 38 с.
Abstract	Об’єкт досліджень – розмірні явища в електрофізичних властивостях (термічний коефіцієнт опору і коефіцієнти тензочутливості) двошарових плівкових систем на основі Cu, Ni, Co, Sc, Ti і Cr. Мета роботи – апробація раніше запропонованої напівкласичної моделі на основі модифікованої теорії Маядаса і Шатцкеса для ТКО на прикладі двошарових плівок Cu/Cr, Sc/Cu, Cr/Co i Ni/Co та розробка аналогічної моделі для коефіцієнтів поздовжньої та поперечної тензочутливості; дослідження електрофізичних властивостей двошарових плівок із різним структурно-фазовим станом: сплав у вигляді т.р. (Cu, Co) з елементами гранульованого стану; т.р. (Ni, Ti) з інтерметалевими фазами та невпорядковані т.р. (Ti, Cu). Методи дослідження – вакуумна пошарова конденсація, метод температурної резистометрії, електронна мікроскопія і електронографія, аналітичний метод на основі модифікованої теорії Маядаса і Шатцкеса. Здійснена апробація напівкласичної моделі для ТКО на прикладі двошарових плівок Cu/Cr, Sc/Cu, Cr/Co i Ni/Co; отримано, що відповідність розрахункових і експериментальних результатів складає від 0,9% (система Cr/Co) до 38,4% (Cu/Cr). Вивчені електрофізичні властивості плівкових матеріалів на основі Cu, Ni, Co і Ti з різним структурно-фазовим станом. Розроблена напівкласична модель для КТ двошарових плівкових систем. Результати НДР можуть бути використані у різних галузях нано- і мікроелектроніки, фізики тонких плівок і мікроприладобудування. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/6195
Appears in Collections:	Звіти з наукових досліджень