Формування кристалічної структури і електрофізичних властивостей плівкових матеріалів на основі багатошарових металевих наносистем

Abstract

Об’єкт досліджень – розмірні явища в електрофізичних властивостях (термічний коефіцієнт опору і коефіцієнти тензочутливості) двошарових плівкових систем на основі Cu, Ni, Co, Sc, Ti і Cr. Мета роботи – апробація раніше запропонованої напівкласичної моделі на основі модифікованої теорії Маядаса і Шатцкеса для ТКО на прикладі двошарових плівок Cu/Cr, Sc/Cu, Cr/Co i Ni/Co та розробка аналогічної моделі для коефіцієнтів поздовжньої та поперечної тензочутливості; дослідження електрофізичних властивостей двошарових плівок із різним структурно-фазовим станом: сплав у вигляді т.р. (Cu, Co) з елементами гранульованого стану; т.р. (Ni, Ti) з інтерметалевими фазами та невпорядковані т.р. (Ti, Cu). Методи дослідження – вакуумна пошарова конденсація, метод температурної резистометрії, електронна мікроскопія і електронографія, аналітичний метод на основі модифікованої теорії Маядаса і Шатцкеса. Здійснена апробація напівкласичної моделі для ТКО на прикладі двошарових плівок Cu/Cr, Sc/Cu, Cr/Co i Ni/Co; отримано, що відповідність розрахункових і експериментальних результатів складає від 0,9% (система Cr/Co) до 38,4% (Cu/Cr). Вивчені електрофізичні властивості плівкових матеріалів на основі Cu, Ni, Co і Ti з різним структурно-фазовим станом. Розроблена напівкласична модель для КТ двошарових плівкових систем. Результати НДР можуть бути використані у різних галузях нано- і мікроелектроніки, фізики тонких плівок і мікроприладобудування. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/6195