Формування кристалічної структури і електрофізичних властивостей плівкових матеріалів на основі багатошарових металевих наносистем

Abstract

Об’єкти досліджень – структурно-фазовий стан і електрофізичні властивості двошарових плівок Cu/Co, Fe/Cr, Ni/V, Тi/Cu та Co/Ti. Мета роботи – вивчення умов формування твердих розчинів (Co, Cu), (Fe, Cr), (Ni, V) та (Ti, Cu) із заданими електрофізичними властивостями; експериментальне дослідження впливу опромінення високоенергетичними іонами на величину ГМО у мультишарах Fe/Cr; розробка напівкласичної і напівфеноменологічної моделі для ТКО багатошарових плівкових систем; вивчення методом ВІМС та ОЕС дифузійних процесів у двошарових плівкових системах; розмірні явища в електрофізичних властивостях плівкових систем на основі Cu, Ni, Co, Sc, Ti і Cr. Методи дослідження – вакуумна конденсація, метод вимірювання ГМО і ТКО, методи ВІМС і ОЕС, електронографія і електронна мікроскопія, аналітичний метод та комп’ютерне моделювання. Проведений аналіз літературних даних про газоутворення, електрофізичні та магніто резистивні властивості нанокристалічних плівкових систем. Досліджені умови формування твердих розчинів (Co, Cu), (Fe, Cr), (Ni, V) та (Ti, Cu) та їх електрофізичні властивості. Здійснено порівняння експериментальних і розрахункових даних для ТКО двошарових плівкових систем. Здійснена робота напівкласичної і напівфеноменологічної моделі для ТКО мультишарів і багатошарових плівкових систем. Здійснена апробація напівкласичної моделі для ТКО на прикладі двошарових плівок Cu/Cr, Sc/Cu, Cr/Co і Ni/Co; отримано, що відповідність розрахункових і експериментальних результатів складає від 0,9 % (система Cr/Co) до 38,4 % (Cu/Cr). Вивчені тензочутливість і дифузійні процеси у плівкових системах на основі Cr, Cu, Sc та Fe. Результати НДР можуть бути використані у різних галузях мікро- і наноелектроніки, фізики твердого тіла і мікроприладобудування. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/6196