Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/636
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Фізичні процеси в чутливих елементах датчиків температури, деформації і тиску |
Authors |
Pazukha, Iryna Mykhailivna
![]() |
ORCID |
http://orcid.org/0000-0001-9410-3024 |
Keywords |
датчики температури, деформації і тиску багатошарові плівки термічний коефіцієнт опору датчики температуры, деформации и давления многослойные пленки температурный коэффициент сопротивления temperature, gauge and pressure sensors multilayer film systems temperature coefficient of resistance |
Type | Synopsis |
Date of Issue | 2009 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/636 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Пазуха, І. М. Фізичні процеси в чутливих елементах датчиків температури, деформації і тиску [Текст] : автореферат... канд. фіз.-мат. наук, спец.: 01.04.01 - фізика приладів, елементів і систем / І. М. Пазуха. - Суми : Сумський державний університет, 2009. - 24 с. |
Abstract |
Дисертація присвячена встановленню особливостей фізичних
процесів у багатошарових плівкових системах на основі Cu і Cr або Ag
та Fe і Cr або Cu, які можуть бути використані як чутливі елементи
датчиків температури, деформації і тиску.
Запропонована методика оцінки внеску інтерфейсного
розсіювання електронів у загальну величину питомого опору,
температурного коефіцієнту опору (ТКО) і коефіцієнта
тензочутливості (КТ). Розраховано внесок об’ємного, поверхневого,
зерномежевого та інтерфейсного розсіювання електронів у загальну
величину ТКО та КТ і зроблено розрахунок статистичної ваги кожного
з цих механізмів розсіювання електронів. Показано, що робочі характеристики чутливих елементів датчиків температури, деформації
і тиску можуть бути покращені за рахунок інтерфейсного розсіювання.
Проаналізовано особливості процесів дифузії та фазоутворення у
двошарових плівкових системах, компоненти яких мають різну
взаємну розчинність, і вивчено проблему стабільності інтерфейсів. // Русск. версия: Диссертация посвящена изучению особенности физических
процессов в многослойных пленочных системах на основе Cu и Cr или
Ag, Fe и Cr или Cu, которые могут быть использованы как
чувствительные элементы датчиков температуры, деформации и
давления.
Проведен анализ влияния физических процессов на
электрофизические свойства чувствительных элементов датчиков
температуры, деформации и давления. Показано, что величина
удельного сопротивления многослойных пленочных систем при
термообработке и деформации зависит от действия, которое
оказывают внешний и внутренний размерные эффекты. Среди
процессов, связанных с электронным транспортом в тонкопленочных
образцах, наименее изученным является интерфейсное рассеяние. В
связи с этим была предложена методика, которая позволила не только
определить вклад данного механизма в величину удельного
сопротивления, ТКО, КТ, но и показать, что рабочие характеристики
термо- и тензорезисторов могут быть улучшены за счет увеличения
количества границ раздела. Показано, что стабильность работы
датчиков неэлектрических величин в значительной степени зависит от
процессов фазообразования и взаимной диффузии атомов. Методом
рентгеновской рефлектометрии проведен анализ стабильности границ
раздела для образцов, компоненты которых имеют различную
взаимную растворимость. Установлено, что в системе Fe/Cr, в которой
уже на стадии конденсации происходит образование твердого раствора по всему объему пленки, интерфейс более гладкий (σ @ 0,35 - 0,98 нм)
по сравнению с системой Cu/Cr (σ @ 0,58-1,53 нм), в которой
сохраняется индивидуальность отдельных слоев.
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/636 |
Appears in Collections: |
Автореферати |
Views

1

724734906

2

2

505835

427874791

1

1

3

1318797295

-735237497

1

1

505837

1

41

-468322552

1

11

1097968944

552903039

74447308

1693602786
Downloads

427874792

3

552903034

1

5

1449469804

1

-1470474996

391
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
пазуха.pdf | 5.38 MB | Adobe PDF | 959773035 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.