Електрофізичні властивості тонких плівок на основі Ru

Крекшин, Д.М.; Логвинов, Андрій Миколайович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64633

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Електрофізичні властивості тонких плівок на основі Ru
Authors	Крекшин, Д.М. Lohvynov, Andrii Mykolaiovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0001-5496-3345
Keywords	нанорозмірна плівка наноразмерная пленка nanoscale film резистометрія резистометрия resistometry дифузійний процес диффузный процесс diffusion process
Type	Conference Papers
Date of Issue	2017
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64633
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Крекшин, Д.М. Електрофізичні властивості тонких плівок на основі Ru [Текст] / Д.М. Крекшин, А.М. Логвинов ; наук. кер. І.В. Чешко // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 17-21 квітня 2017 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми : СумДУ, 2017. – С. 98.
Abstract	Завдяки високій стабільності контактного опору та механічній твердості нанорозмірні плівки Ru почали широко застосовуватися в різних галузях сучасної електроніки. Особливо актуальним стало поєднання шарів Ru i Co для створення синтетичних функціональних шарів для формування ефективних спін-клапанів та спінтронних елементів. Систематичне дослідження електрофізичних властивостей тонких плівок Ru почалося порівняно недавно і пов’язано з низкою нерозв’язаних проблем у розумінні особливостей фазового складу таких тонких плівок та протіканням дифузійних процесів в них.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)