Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64738
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Хімічне полірування Cd(Mn)Te травильними композиціями КІО3 – КІ – лактатна кислота
Authors Іваніцька, В.Г.
Тунь, Є.І.
Мар'янчук, П.Д.
Фочук, П.М.
ORCID
Keywords хімічне полірування
химическое полирование
chemical polishing
напівпровідник
полупроводник
semiconductor
лактатна кислота
лактатная кислота
lactic acid
Type Conference Papers
Date of Issue 2017
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64738
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Хімічне полірування Cd(Mn)Te травильними композиціями КІО3 – КІ – лактатна кислота [Текст] / В. Г. Іваніцька, Є.І. Тунь, П.Д. Мар’янчук, П.М. Фочук // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 17-21 квітня 2017 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми : СумДУ, 2017. – С. 106.
Abstract Хімічна обробка напівпровідників – це сукупність технологічних операцій, які застосовують для одержання досконалої поверхні зразків чистої від забруднень, а також із метою контрольованого видалення матеріалу та отримання пластин заданої товщини. Метою роботи є дослідження особливостей та аналіз результатів хімічної взаємодії монокристалічного Cd0,95Mn0,05Te із розчинами КІО3 – КІ – лактатна кислота в процесі хіміко-механічного полірування (ХМП), виявлення впливу в’язкого компонента на результат ХМП.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Cuba Cuba
1
Czechia Czechia
1
Germany Germany
598757349
Greece Greece
1
Ireland Ireland
315414
Lithuania Lithuania
1
Poland Poland
1
Puerto Rico Puerto Rico
1
Singapore Singapore
45655364
South Korea South Korea
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
15235265
United Kingdom United Kingdom
6736288
United States United States
598757348
Unknown Country Unknown Country
15235264

Downloads

Germany Germany
598757350
Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
45655362
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
345034038
Unknown Country Unknown Country
4

Files

File Size Format Downloads
Ivanitska_poliruvannia.pdf 444.84 kB Adobe PDF 989446756

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.