Структура та коливні спектри тонких плівок B -Ga[2]O[3]

Медвідь, І.І.; Бордун, Б.О.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64782

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Структура та коливні спектри тонких плівок B -Ga[2]O[3]
Authors	Медвідь, І.І. Бордун, Б.О.
ORCID
Keywords	іонно-плазмове розпилення ионно-плазменное распыление ion-plasma spraying полікристалічна структура поликристаллическая структура polycrystalline structure дифракційний спектр дифракционный спектр diffraction spectrum
Type	Conference Papers
Date of Issue	2017
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64782
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Медвідь, І.І. Структура та коливні спектри тонких плівок B -Ga[2]O[3] [Текст] / І.І. Медвідь, Б.О. Бордун // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 17-21 квітня 2017 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми : СумДУ, 2017. – С. 112.
Abstract	В останні роки широке застосування набувають плівки на основі β-фази Ga2O3. Тонкі плівки Ga2O3 товщиною 0.2-0.8 мкм одержані високочастотним (ВЧ) іонно-плазмовим розпиленням на підкладках із плавленого кварцу υ-SiO2. Для отриманих плівок -Ga2O3 характерна полікристалічна структура, яка відрізняється залежно від способу термообробки плівок. Одержані в роботі результати при дослідженні коливних спектрів можна використати при вивченні структури і досконалості тонких плівок -Ga2O3, перебудови їх структури під час фазових переходів. Спектри ІЧ-відбивання корисні для інтерпретації плівок -Ga2O3, легованих елементами III-V груп періодичної системи. Наявність у цих спектрах порівняно вузьких смуг дозволяє проводити кількісний аналіз домішок.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)