Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64782
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Структура та коливні спектри тонких плівок B -Ga[2]O[3] |
Authors |
Медвідь, І.І.
Бордун, Б.О. |
ORCID | |
Keywords |
іонно-плазмове розпилення ионно-плазменное распыление ion-plasma spraying полікристалічна структура поликристаллическая структура polycrystalline structure дифракційний спектр дифракционный спектр diffraction spectrum |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2017 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64782 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Медвідь, І.І. Структура та коливні спектри тонких плівок B -Ga[2]O[3] [Текст] / І.І. Медвідь, Б.О. Бордун // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 17-21 квітня 2017 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми : СумДУ, 2017. – С. 112. |
Abstract |
В останні роки широке застосування набувають плівки на основі β-фази Ga2O3. Тонкі плівки Ga2O3 товщиною 0.2-0.8 мкм одержані високочастотним (ВЧ) іонно-плазмовим розпиленням на підкладках із плавленого кварцу υ-SiO2. Для отриманих плівок -Ga2O3 характерна полікристалічна структура, яка відрізняється залежно від способу термообробки плівок. Одержані в роботі результати при дослідженні коливних спектрів можна використати при вивченні структури і досконалості тонких плівок -Ga2O3, перебудови їх структури під час фазових переходів. Спектри ІЧ-відбивання корисні для інтерпретації плівок -Ga2O3, легованих елементами III-V груп періодичної системи. Наявність у цих спектрах порівняно вузьких смуг дозволяє проводити кількісний аналіз домішок. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views

8407

1

2637

1

1

1

51105

19947

552769

685974
Downloads

552768

1

1

153153

1

552768

3
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Medvid_spektr.pdf | 468.75 kB | Adobe PDF | 1258695 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.