Влияние тантала на текстуру вакуумных конденсатов меди

Abstract

Изучена структура вакуумных конденсатов Cu(Ta) толщиной до 50 мкм отделенных от неориентирующих подложек. Обнаружено, что конденсаты Cu(Ta), полученные при температуре подложки 100 °С, имеют текстуру типа <111> перпендикулярно их поверхности. Степень и характер текстурированности зеренной структуры медной матрицы зависят от концентрации тантала, температуры подложки и сохраняются при последующем отжиге. Изученные закономерности объясняются формированием атомами тантала сегрегаций на границах зерен медной матрицы в процессе конденсации двухкомпонентного пара.

Вивчено структуру відокремлених від неоріентуючих підкладок вакуумних конденсатів Cu(Ta) товщиною до 50 мкм. Виявлено, що конденсати Cu(Ta), які отримані при температурі підкладки 100 °С, мають текстуру типу <111> перпендикулярно їх поверхні. Ступінь і характер текстурованності зереної структури мідної матриці, що залежать від концентрації танталу і температури підкладки, зберігається при подальшому відпалі. Вивчені закономірності пояснюються формуванням атомами танталу сегрегацій на межах зерен мідної матриці в процесі конденсації двокомпонентної пари.

The structure of 50 microns thick separated from the nonorienting substrate Cu(Ta) vacuum condensates is studied. It is found that Cu(Ta) condensates, obtained at the substrate temperature of 100 °C have a <111> type texture perpendicular to their surface. The degree and nature of the texturing of the grain structure of the copper matrix, which depend on the concentration of tantalum and the substrate temperature is maintained during subsequent annealing. The regularities studied are explained by the formation by tantalum atoms of segregation at the grain boundaries of the copper matrix during the condensation of two-component vapor.