Отримання блокових наноструктур на поверхні фосфіду індію

Abstract

У роботі описується методика створення блочних наноструктур на поверхніp-InP методом фотоелектрохімічного травлення. Використано різні режими травлення та склади електроліту. Показано, що мікроморфологія наноструктурованих шарів залежить від концентрації HCl у розчині електроліту. Блокові наноструктури досліджено за допомогою скануючої мікроскопії, методу EDAX та дифрактометричного рентгенівського аналізу. Утворення блоків пояснено за допомогою кінетичного механізму розчинення кристалів.

В работе описывается методика создания блочных наноструктур на поверхности p-InP методом фотоелектрохимического травления. Использованы различные режимы травления и составы электролита. Показано, что микроморфология наноструктурированных слоев зависит от концентрации HCl в растворе электролита. Блочные наноструктуры исследованы с помощью сканирующей микроскопии, метода EDAX и дифрактометрического рентгеновского анализа. Образование блоков объяснено с помощью кинетического механизма растворения кристаллов.

The paper describes the methodology of creating block nanostructures on the surface of the p-InP by photoelectrochemical etching. We use different etching modes and electrolyte compositions. It is shown that the micromorphology of nanostructured layers depends on the HCl concentration in the electrolyte solution. Block nanostructures investigated by scanning microscopy method EDAX and X-ray diffractometry analysis. Blocks explained by the formation of the kinetic mechanism of dissolution of the crystals.