Реалізація моделі пучка електронів у системі растрового електронного мікроскопу

Барсегян, Н.М.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67717

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Реалізація моделі пучка електронів у системі растрового електронного мікроскопу
Authors	Барсегян, Н.М.
ORCID
Keywords	електронний мікроскоп электронный микроскоп electronic microscope пучок електронів пучок электронов electron beam лінзи линзы lenses
Type	Conference Papers
Date of Issue	2018
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67717
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Барсегян, Н.М. Реалізація моделі пучка електронів у системі растрового електронного мікроскопу [Текст] / Н.М. Барсегян; кер. О.О. Дрозденко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 84.
Abstract	Мета роботи полягала у реалізації моделі пучка електронів у системі растрового електронного мікроскопу, котра призначена для вирішення задач формування пучка. Модель виконана у просторі Comsol multiphysics, що дозволяє швидко моделювати фізичні процеси.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)