Акустоелектронний сенсор фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях

Ткач, Олена Петрівна; Сухін, Є.І.; Однодворець, Катерина Сергіївна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67906

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Акустоелектронний сенсор фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях
Authors	Tkach, Olena Petrivna Сухін, Є.І. Odnodvorets, Kateryna Serhiivna
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-3207-2490
Keywords	сенсорні пристрої сенсорные устройства sensory devices наноелектроніка наноэлектроника nanoelectronics мікроелектронні технології микроэлектронные технологии microelectronic technology
Type	Conference Papers
Date of Issue	2018
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67906
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Сухін, Є.І. Акустоелектронний сенсор фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях [Текст] / Є.І. Сухін, К.С. Однодворець, О.П. Ткач // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 88.
Abstract	Розроблення сенсорних пристроїв на вітчизняному та світовому ринках є прогресивним напрямом в подальшому розвитку наноелектроніки. На основі поверхневих хвиль розроблена велика кількість сенсорів з високими показниками точності, що дозволяють вимірювати вагу, тиск, прискорення та ін. До переваг даних пристроїв можна віднести те, що вони створюються на основі елементів інтегральної електроніки, оптики та різноманітних мікроелектронних технологій і при цьому забезпечують контроль декількох фізичних величин. Проте актуальними залишаються питання пошуку нових матеріалів для підкладки та топології її виготовлення.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)