Синтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струмі

Шелест, Ігор Владиславович; Кравченко, Ярослав Олегович; Буранич, Володимир Володимирович; Єпіфанов, І.Н.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67910

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Синтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струмі
Authors	Shelest, Ihor Vladyslavovych Kravchenko, Yaroslav Olehovych Buranych, Volodymyr Volodymyrovych Єпіфанов, І.Н.
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-0984-1298
Keywords	бориди бориды borides наноструктури наноструктуры nanostructures плівки пленки films
Type	Conference Papers
Date of Issue	2018
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67910
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Синтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струмі [Текст] / І.В. Шелест, В.В. Буранич, І.Н. Єпіфанов, Я.О. Кравченко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 50.
Abstract	Матеріали модифіковані покриттями боридів та боридонітрідів набувають високої міцності і температурної стабільності, добре зарекомендували себе у сфері машинобудування. Надтвердість у даних плівках обумовлюється особливим наноструктурних станом з переважною орієнтацією зростання зерен по відношенню до кристалографічної площини.Для отримання покриттів диборида танталу використовували DC-магнетронну систему для реактивного синтезу з композиційних мішеней.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)