Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67912
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Аналіз впливу параметрів магнетронного розпилення на формування наноструктурних покриттів TaB2 |
Authors |
Shelest, Ihor Vladyslavovych
Kravchenko, Yaroslav Olehovych Buranych, Volodymyr Volodymyrovych Бровко, Д.Ю. |
ORCID |
http://orcid.org/0000-0003-0984-1298 |
Keywords |
тонкі покриття тонкие покрытия thin coatings наноструктурні покриття наноструктурные покрытия nanostructured coatings магнетронне розпилення магнетронное распыление magnetron sputtering |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2018 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67912 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | |
Citation | Аналіз впливу параметрів магнетронного розпилення на формування наноструктурних покриттів TaB2 [Текст] / І.В. Шелест, В.В. Буранич, Д.Ю. Бровко, Я.О. Кравченко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 49. |
Abstract |
Тонкі покриття на основі боридів перехідних металів мають високу температуру плавлення та твердість, і знайшли широкий діапазон використання у різних галузях промисловості, за рахунок ефективного підвищення захисних властивостей. Для нанесення даних покриттів високу популярність здобув метод нереактивного магнетронного розпилення композиційних мішеней за участю іонного бомбардування, за рахунок високої варіативності в плані регулювання параметрів. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views
China
271
Greece
1
Ireland
7138
Lithuania
1
Netherlands
135
Seychelles
1
Singapore
1
Ukraine
635233
United Kingdom
96650
United States
3295495
Unknown Country
11
Downloads
Bulgaria
1
Germany
1
Lithuania
1
Singapore
1
Ukraine
337726
United States
2556053
Unknown Country
7
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Shelest_Buranych_Brovko_Kravchenko.pdf | 433.91 kB | Adobe PDF | 2893790 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.