Мікроструктура та властивості AlN-TiB2-TiSi2 покриттів після високотемпературного відпалу та іонної імплантації

Abstract

Тенденції постійного збільшення вимог щодо швидкості механічної обробки і якості деталей механізмів разом із встановленими екологічними стандартами, зумовлюють високі вимоги до матеріалів покриттів, зокрема, висока твердість і висока стійкість до окислення. Останнім часом сформувалася тенденція до розробки покриттів, що мають у своєму складі п'ять і більше елементів, правильно підібрана комбінація яких обумовлює унікальні переваги таких покриттів перед покриттями з меншою кількістю компонентів. Метою даної роботи є проведення комплексного дослідження структури, фазового складу, морфології поверхні та фізико-механічних характеристик покриття, отриманого методом імпульсного магнетронного розпилення багатокомпонентної мішені з низькою провідністю AlN-TiB2-TiSi2 і вивчення зміни властивостей покриття в результаті високотемпературного впливу.