Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами

Швец, Ульяна Станиславовна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/698

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами
Authors	Shvets, Uliana Stanislavivna
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-1518-4047
Keywords	эллипсометрия еліпсометрія ellipsometry
Type	Article
Date of Issue	2005
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/698
Publisher	Издательство СумГУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Швец, У.С. Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами [Текст] / У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2005. — №8(80). — С. 160-170.
Abstract	В настоящей статье проанализированы существующие методы решения обратной задачи эллипсометрии. Рассмотрены проблемы, возникающие при решении данного рода задач. Указаны области применения каждого из них, а также их преимущества и недостатки. Выполнены численные моделирования тестовых задач, основанные на минимизации функционалов. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/698
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)