Електрофізичні властивості та кристалічна структура плівок алюмінію

Басов, Андрій Геннадійович; Степаненко, Андрій Олександрович; Чорноус, Анатолій Миколайович; Басов, Андрей Геннадьевич

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/701

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Електрофізичні властивості та кристалічна структура плівок алюмінію
Authors	Basov, Andrii Hennadiiovych Stepanenko, Andrii Oleksandrovych Chornous, Anatolii Mykolaiovych Басов, Андрей Геннадьевич
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-0105-0440 http://orcid.org/0000-0002-5009-5445
Keywords	властивості плівок алюмінію свойства пленок алюминия кристалічна структура кристалическая структура kristalicheskaya structure електрофізичні властивості электрофизические свойства electro-physical properties
Type	Article
Date of Issue	2005
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/701
Publisher	Видавництво СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Басов, А.Г. Електрофізичні властивості та кристалічна структура плівок алюмінію [Текст] / А.Г. Басов, А.О. Степаненко, А.М. Чорноус // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2005. — №8(80). — С. 170-176.
Abstract	Проведено дослідження структурних характеристик і електрофізичних властивостей плівок алюмінію в інтервалі товщин 20-150 нм, отриманих при температурі підкладки 300 К та пройшовши термообробку до 870К. Показано. Що при температурі 82010 К спостерігається різке збільшення питомого електричного опору, ступінь якого залежить від товщини плівок. Здійснено розрахунок параметрів електроперенесення за лінеарізованою та ізотропною моделями Ательє, Тоссе і Пішар. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/701
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)