Спосіб тонкого очищення інертних газів від газоподібних домішок

Abstract

Пропонується спосіб тонкого очищення інертних газів від газоподібних домішок, що включає введення в вакуумну камеру через клапан дозованого напуску неочищеного інертного газу, розкладання в плазмі газоподібних домішок неочищеного інертного газу па компоненти, розпилення титанової мішені іонами неочищених інертних газів з наступною конденсацією парів титану і утворенням плівки титану на внутрішній поверхні вакуумної камери, поглинання плівкою титану компонентів газоподібних домішок, в якому з метою підвищення продуктивності тонкого очищення інертних газів, та розширення варіантів їх подальшого використання, як вакуумна камера, в яку вводять неочищений інертний газ, використовують камеру циліндричної форми, внутрішню бокову поверхню якої охолоджують проточною водою, при цьому в якості титанової мішені для іонною розпилення використовують розігрітий до температури, що перевищує N00 °С титановий стрижень, який розташований співвісно циліндричній вакуумній камері, що оснащена клапаном для дозованого відведення очищених інертних газів.