(TiZr)N/(TiSi)N Maitilayer Nanostructured Coatings obtained by Vacuum Arc Deposition

Lytovchenko, S.V.; Mazilin, B.А.; Beresnev, V.M.; Stolbovoy, V.А.; Kovalyova, M.G.; Kritsyna, Е.V.; Kolodiy, I.V.; Glukhov, О.V.; Malikov, L.V.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71556

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	(TiZr)N/(TiSi)N Maitilayer Nanostructured Coatings obtained by Vacuum Arc Deposition
Other Titles	Багатошарові наноструктуровані покриття (TiZr)N / (TiSi)N, сформовані методом вакуумно-дугового осадження
Authors	Lytovchenko, S.V. Mazilin, B.А. Beresnev, V.M. Stolbovoy, V.А. Kovalyova, M.G. Kritsyna, Е.V. Kolodiy, I.V. Glukhov, О.V. Malikov, L.V.
ORCID
Keywords	нітридні покриття багатошарове покриття елементний склад структура мікротвердість адгезійна міцність nitride coatings multilayer coating composition of elements structure microhardness adhesive strength
Type	Article
Date of Issue	2018
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71556
Publisher	Sumy State University
License
Citation	(TiZr)N/(TiSi)N Maitilayer Nanostructured Coatings obtained by Vacuum Arc Deposition = Багатошарові наноструктуровані покриття (TiZr)N/(TiSi)N, сформовані методом вакуумно-дугового осадження / S.V. Lytovchenko, B.A. Mazilin, V.M. Beresnev [et al.] // Журнал нано- та електронної фізики. - 2018. - Т.10, № 5. - 05041. - DOI: 10.21272/jnep.10(5).05041
Abstract	Досліджено структуру та властивості наномасштабних багатошарових покриттів на основі (TiZr)N та (TiSi)N, сформованих ваккумно-дуговим методом. Проаналізовано вплив парціального тиску азоту на структурно-фазовий стан покриттів. Нітридні фази є сильно текстурованими, кристалографічні площини (111) більшості зерен орієнтовані паралельно до поверхні. Розраховано розміри областей когерентного розсіювання і рівні мікроспотворень ґратів. Твердість покриттів досягала 37,1 ГПа, а навантаження адгезійного руйнування перевищує 150 Н. Технологія процесу забезпечує високу однорідність і низьку дефектність сформованого покриття. The paper investigates the structure and properties of nanoscale multilayer coatings based on (TiZr)N and (TiSi)N produced by vacuum arc technique. Also, it provides an analysis of the impact of partial pressure of nitrogen on structural and phase state of coatings. The nitride phases are strongly textured, crystallographic planes (111) of most grains are oriented parallel to the surface. Dimensions of the coherent scattering regions and values of micro-distortions of the lattice have been calculated. The hardness of coatings reached 37.1 GPa, and the adhesion fracture load exceeds 150 N. The process technology ensures high uniformity of and a low defect rate in obtained coatings.
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)