The Structural-Phase State and Diffusion Process in Film Structures Based on Co and Ru

Cheshko, Iryna Volodymyrivna; Lohvynov, Andrii Mykolaiovych; Protsenko, Serhii Ivanovych; Салтикова, А.І.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71622

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	The Structural-Phase State and Diffusion Process in Film Structures Based on Co and Ru
Other Titles	Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових структурах на основі Co і Ru
Authors	Cheshko, Iryna Volodymyrivna Lohvynov, Andrii Mykolaiovych Protsenko, Serhii Ivanovych Салтикова, А.І.
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-1585-6712 http://orcid.org/0000-0001-5496-3345 http://orcid.org/0000-0002-8070-1610
Keywords	тонка плівка синтетичний антиферомагнітний шар crystal structure кристалічна структура фазовий склад дифузія вторинна мас-спектрометрія thin film synthetic antiferromagnetic layer crystal structure phase composition diffusion secondary ion mass spectrometry
Type	Article
Date of Issue	2018
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71622
Publisher	Sumy State University
License
Citation	The Structural-Phase State and Diffusion Process in Film Structures Based on Co and Ru / I.V. Cheshko, A.M. Lohvynov, A.I. Saltykova, S.I. Protsenko // Журнал нано- та електронної фізики. - 2018. - Т.10, № 6. - 06016. - DOI: 10.21272/jnep.10(6).06016
Abstract	Представлені результати дослідження кристалічної структури, фазового складу та дифузійних процесів у плівкових системах на основі Co та Ru в діапазоні товщин 5÷60 нм до і після відпалювання до температури 600 К. Було показано, що плівкові системи Co / Ru / П та Co / Ru / Со / П складаються з фази ГЩП-Co та ГЩП-Ru. Плівкові системи до складу яких входять шари Ru до і після відпалювання мають нанодисперсну кристалічну структур. Середній розмір кристалітів зразків до відпалювання не перевищує 3÷5 нм, після відпалювання максимальний середній розмір становив 16 нм для зразків з товщиною шарів 60 нм Результати дослідження дифузійних процесів двошарових плівкових систем Co / Ru / П в різних діапазонах товщин показали, що до і після відпалювання зберігається відносна індивідуальність окремих шарів оскільки розраховані значення ефективних коефіцієнтів термічної дифузії для відносно тонких та відносно товстих плівок лежать в межах від 0.1 до 1.1 × 10 – 19 м2 / с. Investigation results of crystalline structure, phase composition and diffusion processes in film systems based on Co and Ru in the thickness range 5÷60 nm before and after annealing to temperature 600 К are represented. It was shown that the film system Co / Ru / S and Co / Ru / Со / S consist of a phase hcp-Co and hcp-Ru. Film systems consisting of Ru layers before and after annealing have a nanodispersed crystalline texture. The average size of crystallites samples before annealing does not exceed 3÷5 nm, after annealing the maximum average size was 16 nm for samples with layer thicknesses 60 nm. The results of the study of the diffusion process of two-layer film systems Co / Ru / in different thickness ranges showed that before and after annealing the relative individuality of separate layers is preserved since the calculated values of thermal diffusion effective coefficients for relatively thin and thick films lie in the range from 0.1 to 1.1 × 10 – 19 m2 / sec.
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)