Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/73736
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Modification of Optical Properties of Surface Layers and Thin Films by Laser Treatment
Other Titles Модифікація оптичних властивостей поверхневих шарів та тонких плівок лазерною обробкою
Authors Poperenko, L.V.
Stukalenko, V.V.
Yurgelevych, I.V.
ORCID
Keywords наноструктурований кремній
швидкозагартовані сплави
лазерна обробка
еліпсометрія
оптична анізотропія
nanostructured silicon
rapidly quenched alloys
laser treatment
ellipsometry
optical anisotropy
Type Article
Date of Issue 2019
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/73736
Publisher Sumy State University
License
Citation Poperenko, L.V. Modification of Optical Properties of Surface Layers and Thin Films by Laser Treatment [Текст] = Модифікація оптичних властивостей поверхневих шарів та тонких плівок лазерною обробкою / L.V. Poperenko, V.V. Stukalenko, I.V. Yurgelevych // Журнал нано- та електронної фізики. - 2019. - Т. 11, № 3. - 03032. - DOI: 10.21272/jnep.11(3).03032
Abstract Еліпсометричним методом досліджено оптичну провідність кремнієвої пластини, модифікованої фемтосекундним лазерним опроміненням, а також вплив лазерної обробки на оптичні властивості поверхневих шарів швидкозагартованих багатокомпонентних стрічок сплаву. Зразки наноструктурованого кремнію у вигляді окремих комірок було сформовано на монокристалічних кремнієвих пластинах методом лазерної абляції. Режими сканування лазерного променю забезпечують синтез у повітряній атмосфері наноструктурованих частинок діоксину кремнію та кремнієвих наночастинок. Встановлено, що еліпсометричні параметри та оптична провідність σ комірок наноструктурованого кремнію суттєво відрізняються для двох орієнтацій комірки відносно p-напрямку зразка. Це означає, що сформовані кремнієві наноструктури мають суттєву оптичну анізотропію внаслідок деформаційного впливу лазерної абляції та виникнення пружних напружень в поверхневому шарі наноструктурованого кремнію. Для ділянок кремнію, які не опромінювались лазером і розташовані між комірками наноструктурованого кремнію, оптичної анізотропії не виявлено. Отримані залежності оптичної провідності σ швидкозагартованих багатокомпонентних стрічок сплаву від енергії лазерного імпульсу E та кількості імпульсів N є немонотонними і досягають мінімуму при певних значеннях E та N. Така поведінка σ під час першого етапу лазерної обробки пов’язана з так званим ефектом "лазерної вітрифікації" внаслідок додаткового атомного розупорядкування поверхневих шарів стрічок, які не є повністю аморфними у вихідному стані, а містять деяку кількість кристалічної фази. Під час другого етапу такої обробки наявна аморфна структура продовжувала формуватись і релаксувати в поверхневому шарі. На третьому етапі лазерної теплової дії спостерігався відпал поверхні стрічки за рахунок досягнення достатньої дози лазерного випромінювання, що призводить до утворення кристалічної фази і, отже, до збільшення σ.
Optical conductivity of silicon wafer modified by femtosecond laser irradiation as well as an effect of laser treatment on the optical properties of surface layers of rapidly quenched multicomponent alloy ribbons have been investigated by ellipsometry. The samples of the nanostructured silicon as isolated cells were formed on the single crystal silicon wafers by method of laser ablation. Laser beam scanning modes provide in air atmosphere the synthesis of nanostructured silicon dioxide particles as well as silicon nanoparticles. It was established that ellipsometric parameters and optical conductivity σ of the cells of the nanostructured silicon are significantlly changes for two cell orientations relatively p-direction of the sample. This means that the formed silicon nanostructures possess essential optical anisotropy as a result of a deformation influence of laser ablation and an appearance of elastic stresses within the surface layer of the nanostructured silicon. The optical anisotropy was not found for silicon areas which were not subjected to laser action and located between the cells of the nanostructured silicon. The obtained variations of the optical conductivity σ of rapidly quenched multicomponent alloy ribbons as functions of laser pulse energy E as well as a number of pulses N are nonmonotonic and reach a minimum at certain E and N values. Such behavior of their σ during the first phase of laser treatment is related to the so-called "laser-induced vitrification" effect owing to additional atomic disordering of the surface layers of ribbons which are not completely amorphous in the initial state but contain some amount of a crystalline phase. Then during the second phase of such treatment the current amorphous structure was continued to be formed and relaxed within surface layer. At the third phase of laser heat action the annealing of the surface ribbon was observed due to reaching some sufficient laser radiation dose which leads to the formation of the crystalline phase and, therefore, to an increase in σ.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

China China
704252
Germany Germany
1
Greece Greece
1396
Iran Iran
1
Ireland Ireland
9425
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
348
Singapore Singapore
1
Ukraine Ukraine
128143
United Kingdom United Kingdom
64420
United States United States
2093906
Unknown Country Unknown Country
128142
Vietnam Vietnam
1398

Downloads

Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
352125
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
3131435
Unknown Country Unknown Country
4
Vietnam Vietnam
1

Files

File Size Format Downloads
Poperenko_jnep_2019_3.pdf 336.41 kB Adobe PDF 3483567

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.