Фізико-механічні процеси у тонкоплівковому тензорезисторі

Забіла, Є.О.; Проценко, Іван Юхимович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/755

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Фізико-механічні процеси у тонкоплівковому тензорезисторі
Authors	Забіла, Є.О. Protsenko, Ivan Yukhymovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-3351-9303
Keywords	тензорезистор тензорезистор gauges
Type	Article
Date of Issue	2005
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/755
Publisher	Видавництво СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Забіла, Є.О. Фізико-механічні процеси у тонкоплівковому тензорезисторі [Текст] / Є.О. Забіла, І.Ю. Проценко // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2005. — №4(76). — С. 108-124.
Abstract	Проведено дослідження фізико-механічних процесів, що відбуваються у чутливому елементі плівкового тензодатчика на різних стадіях його деформації, максимальне значення якої сягало 15 %. Розроблена експериментальна методика дослідження тензочутливості тонких плівок в області пружної (квазіпружної) та пластичної деформації. Методика дозволяє також діагностувати початок та ступінь розтріскування плівки в процесі випробування на розтяг. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/755
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)