Електрофізичні властивості нанорозмірних плівок на основі пермалою та срібла

Abstract

Мета роботи полягала у дослідженні електрофізичних властивостей (питомий опір та термічний коефіцієнт опору) нанорозмірних плівкових структур на основі феромагнітного сплаву пермалою та немагнітного матеріалу Ag, одержаних методом одночасної електронно-променевої конденсації компонент у вакуумі залежно від загальної товщини системи при фіксованій концентрації. При виконанні роботи для формування зразків у вакуумній камері ВУП-5М був використаний метод електронно-променевого випарування. Температурні залежності питомого опору отримувались при використанні метода резистометрії. Для контролю товщини плівок в процесі напилення застосовувався метод кварцового резонатора. Для обробки інформації було застосовано програмний продукт Origin Pro 8.5.1. Експериментальні результати дослідження залежностей ρ(T) та β(T) нанорозмірних плівкових зразків на основі пермалою та срібла показали, що збільшення товщини плівки з 20 до 60 нм призводить до зменшення питомого опору з 8,04·10–7 до 1,5·10–7 Ом·м. та відповідного зростання величини ТКО з 1,41·10–3 до 2,74·10–3 К–1.